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光學(xué)產(chǎn)品

Optical products

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玻璃晶圓

產(chǎn)品介紹:

通過對(duì)特殊材料進(jìn)行高精度的切割、研磨、拋光等冷加工工序,達(dá)到表面粗糙度≤1nm、TTV≤5μm等表面要求


技術(shù)特點(diǎn)及優(yōu)勢(shì):

冷加工全制程:可提供4、6、8、12寸不同尺寸的產(chǎn)品


產(chǎn)品應(yīng)用:

半導(dǎo)體襯底、半導(dǎo)體封裝、半導(dǎo)體承載等高精度領(lǐng)域

參數(shù)

玻璃晶圓片規(guī)格

材料

玻璃、石英等

形狀

圓形

外徑

3”——12”寸等

外徑尺寸

76.2mm——300mm

外徑公差

±0.05mm

厚度

0.1mm——2.0mm

最小厚度

0.1mm

TTV

<3μm

BOW

<20μm

WARP

<30μm

外觀質(zhì)量

20/10

粗糙度

Ra<5nm

倒邊

45°,C0.2+/-0.1mm

* 備注:可以根據(jù)客戶需求定制